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产品系列
日本ULVAC公司经多年的技术经验的积累,研制开发HPS-N系列电子束蒸发电源.和电子枪控制器单元,
整体电路运行稳定而安全.抗干扰能力强.可同时对应光学膜及金属膜.
BEB Power Generator(电子枪电源)
1不需用冷却水冷却.
采用强制空冷方式,不需要冷却水.
2高可靠性
通过安装的整机设备后实际使用效果反馈总结.
3高速异常放电遮断重启功能.
采用半导体控制开关.针对异常放电,具有快速遮断,重启,.
起到保护电源的功能.可并保证蒸发工艺维持稳定而高速.
用途:
金属膜,LED电极,配线膜等真空蒸镀.
光学膜TiO2,ZrO2,Ta2O5,防反射膜,绝缘膜,功能膜SiOx,阻隔膜SiN,栅介质AL2O3,
透明导电ITO,ZnO膜的真空蒸镀..
参数:
型号HPS-600NHPS-1000N
相数,频率三相 50/60Hz〃
输输入电压AC200~220V〃
入变动范围AC190~231V〃
规输入一源9.0kVA以下14.0kVA以下
格容量两源10.0kVA以下15.0kVA以下
漏溢电流各相5mA以内〃
额定输一源6kW10kW
出电力两源6kW(两源合计)10kW(两源合计)
输高压可调范围-2kV~-6kV-4kV~-10kV
出输出稳定率±1%以内〃
规电压脉动率±2%p-p以内(在各个额定输出)
格Beam可调范围0~1000mA0~1000mA
电流变动率±2%以内(在各个额定输出)
灯丝用电压0~6V/12VAC〃
输出电流0A~45Amax〃
高压动作方式半导体元件开关方式
闪断高压闪断时间1ms以内(机械性断路约1秒断高压)
保护休止时间10ms以内〃
高压启动时间1ms以内(额定20%至80%)
冷却方式强制风冷.〃
外形尺寸494mmW x 701mmD x 712mmH
上记尺寸不含按键,接口等突起部份
重量115kg120kg