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产品系列
产品描述
日本ULVAC公司生产的DC电源,除用于AL,Ni等DC磁控溅射外,组合异常放电防止器A2K使用,可脉冲正向电压
对SiN,DLC等反应性DC溅射工艺.中和其靶材表面电荷.消除灭弧,保证高速成膜.还可以作为偏压电源使用.
针对已成型溅射工艺设备.进行加装及更换均可.实现低成本的前提下增加产量,保证成品率.
DCS系列,DPG系列的型号参数:
型号DCS0052BDCS0202BDCS0402BDPG-10DPG-10HDPG-20DPG-20HDPG-30R
额定功率500W2KW4KW10KW10KW20KW20KW30KW
**输出电压800V同左同左同左1000V800V1000V1200V
**输出电流1.25A5A10A25A16.7A50A33.3A55A
无负荷电压-1100V以上〃〃〃〃〃〃〃
输入电压95~121V单相190~242V3相AC208V同左同左同左同左AC380V~480V
190~242V单相
使用温度范围0~40度同左同左10~40度同左同左同左同左
使用湿度范围0~90%同左同左0~90%同左同左同左同左
控制器内置同左同左同左同左同左同左选项.
并联**功率独立同左同左**12台(总功率120~240KW)240KW